Research Department Plasmas with Complex Interactions

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Atlanta

06.12.2012 - HENDRIK BAHRE AM GEORGIA INSTITUTE OF TECHNOLOGY

Vom 19.11.12 bis 14.12.12 besuchte Hendrik Bahre für vier Wochen Dr. Samuel Grahams Forschergruppe "Electronics Manufacturing and Reliability Laboratory" am Georgia Institute of Technology in Atlanta, Georgia (USA). Im Vordergrund der Kollaboration stand dabei das Abscheiden ultradünner, hochdichter Gasbarriereschichten mittels Atomlagenabscheidung (ALD) und physikalisch verbesserter chemischer Gasphasenabscheidung (PECVD).

 

 

 

 

 

 

Electronics Manufacturing and Reliability Laboratory